A MES biztosítja az energia-diszperzív röntgen (EDS) analízist az anyagok alapvető összetételéhez. Az EDS egy félkvantitatív röntgentechnika, amelyet az anyagok alapvető összetételének leírására használnak. Az alkalmazások magukban foglalják az anyag azonosítását, a bevonat elemzését, a szennyező anyagok azonosítását és a korróziós elemzést.

Az EDS rendszerek a pásztázó elektronmikroszkóphoz (SEM) kapcsolódnak, ahol a mikroszkóp képalkotó képessége meghatározza az érdeklődő mintát. Az EDX-analízissel generált adatok olyan spektrumokból állnak, amelyek az elemzett minta tényleges összetételét alkotó elemeknek megfelelő csúcsokat mutatják. Alapminta feltérképezése és egy minta képelemzése is lehetséges. Az EDS elemzési technika nem roncsoló, és az érdeklődésre számot tartó minták kevés minta előkészítéssel vagy anélkül is megvizsgálhatók.