L'interferometro a luce bianca (WLI) fornisce informazioni quantitative sulla topografia della superficie da tutti i materiali solidi.
La risoluzione delle misurazioni è ~ 0.5 µm nel piano laterale (X, Y) e ~ 1 nm nel piano di elevazione (Z). Ciò consente un monitoraggio dettagliato delle micro caratteristiche e delle variazioni topografiche su larga scala.
I dati di metrologia della superficie sono presentati sotto forma di mappe di altezza pseudo-colore, immagini 3D, profili di linea e parametri di rugosità della superficie (ad esempio Ra, Rz).