MES fornisce analisi a raggi X a dispersione energetica (EDS) per la composizione fondamentale dei materiali. L'EDS è una tecnica radiografica semiquantitativa utilizzata per descrivere la composizione di base dei materiali. Le applicazioni includono l'identificazione del materiale, l'analisi del rivestimento, l'identificazione dei contaminanti e l'analisi della corrosione.
I sistemi EDS si collegano al microscopio elettronico a scansione (SEM) dove la capacità di imaging del microscopio definisce il campione di interesse. I dati generati dall'analisi EDX sono costituiti da spettri che mostrano i picchi corrispondenti agli elementi che compongono l'effettiva composizione del campione analizzato. Sono anche possibili la mappatura della linea di base e l'analisi dell'immagine di un campione. La tecnica di analisi EDS non è distruttiva e i campioni di interesse possono essere esaminati con poca o nessuna preparazione del campione.