MES는 재료의 기본 구성에 대한 EDS (Energy Dispersive X-Ray) 분석을 제공합니다. EDS는 재료의 기본 구성을 설명하는 데 사용되는 반 정량적 X 선 기술입니다. 응용 분야에는 재료 식별, 코팅 분석, 오염 물질 식별 및 부식 분석이 포함됩니다.
EDS 시스템은 현미경의 이미징 기능이 관심 샘플을 정의하는 주사 전자 현미경 (SEM)에 부착됩니다. EDX 분석으로 생성 된 데이터는 분석 된 샘플의 실제 구성을 구성하는 요소에 해당하는 피크를 보여주는 스펙트럼으로 구성됩니다. 샘플의 기준선 매핑 및 이미지 분석도 가능합니다. EDS 분석 기술은 비파괴 적이며 샘플 준비가 거의 또는 전혀없이 관심 샘플을 검사 할 수 있습니다.