MES, malzemelerin temel bileşimi için Enerji Dağılımlı X-Ray (EDS) analizi sağlar. EDS, malzemelerin temel bileşimini tanımlamak için kullanılan yarı kantitatif bir röntgen tekniğidir. Uygulamalar arasında malzeme tanımlama, kaplama analizi, kirletici tanımlama ve korozyon analizi bulunur.
EDS sistemleri, mikroskobun görüntüleme kapasitesinin ilgilenilen numuneyi tanımladığı Taramalı Elektron Mikroskobu'na (SEM) ekler. EDX analizi ile oluşturulan veriler, analiz edilen numunenin gerçek bileşimini oluşturan öğelere karşılık gelen pikleri gösteren spektrumlardan oluşur. Bir numunenin temel haritalaması ve görüntü analizi de mümkündür. EDS analiz tekniği tahribatsızdır ve ilgilenilen numuneler çok az veya hiç numune hazırlamadan incelenebilir.